TRANSPORTATION ROBOT, SUBSTRATE TRANSPORTATION METHOD THEREFOR, AND SUBSTRATE TRANSPORTATION RELAY APPARATUS

摘要

반송 로봇(50)은, 기판(6)을 각각 지지하는 2개의 블레이드(55, 56)을 구비한 제1 및 제2핸드(52, 53)와, 회동 유닛(57), 제1진퇴 유닛(58), 제2진퇴 유닛(59) 및 승강 유닛(60)을 구비한 이동 장치를 구비하고 있고, 이동 장치에 의해, 제1 및 제2핸드(52, 53)를 기판(6)이 재치되어 있는 기판 반송 중계 장치(25) 및 4개의 프로세스 챔버(23)로 각각 이동시킨다.