| 摘要 |
본 발명은 예를 들어 반도체 제조에 사용되는 액체를 포함하는 액체를 정화하기 위한 제거 가능한 정화기 카세트를 사용하는 모듈형 정화 시스템에 관한 것이다. 정화 시스템은 정화기 입구 포트 및 정화기 출구 포트를 갖는 제거 가능한 정화기 카세트, 및 매니폴드 조립체를 포함할 수도 있다. 매니폴드 조립체는 카세트로/카세트로부터 유체를 제공하기 위한 매니폴드 포트를 제공하는 복수의 연결 시스템을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 연결 시스템은 360도 미만의 회전에 의해 360도의 나사 결합을 제공할 수 있는 연결 너트를 사용할 수도 있다. |
