| 摘要 |
<p>부식감지센서부를 이용한 케미칼누출감지장치가 제공된다. 본 발명의 케미칼누출감지장치는, 케미칼공급장치의 공정케미칼 누출을 감지하는 케미칼누출감지장치에 있어서, 부식감지센서부; 알람발생부; 및 제어부를 포함한다. 이에 의하여, 공정케미칼의 누출을 조기에 감지하고 공정에 투입된 인력에 유해한 영향을 줄 수 있는 요소를 사전에 차단하며, 공정케미칼 누출이 발생한 부품 또는 부품의 손상 부위를 효과적으로 찾아내어 조기에 보수할 수 있다.</p> |
