| 摘要 |
<p>본 발명은 나노포어 제조방법, 그 제조방법으로 제조된 나노포어, 그 나노포어를 이용한 실시간 분자서열 분석 시스템 및 그 나노포어를 이용한 생체고분자의 분자서열을 분석방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는 나노포어 제조방법에 있어서, 기판의 상부면에 제1박막을 형성하는 단계; 제1박막이 형성된 기판의 상부면과 하부면 각각의 외주부에 리소그래피 공정과 식각공정을 이용해 제1박막과 기판 일부를 제거하여 정렬표시를 형성하는 단계; 기판의 하부면 중앙측을 리소그래피 공정과 식각공정을 이용하여 제1박막의 하부면 중앙부가 드러날 때까지 식각하는 단계; 제1박막의 중앙에 리소그래피 공정과 식각공정을 이용해 나노홀을 형성시키는 단계; 제2박막을 1회 이상 증착하여 나노홀의 직경을 감소시키는 단계; 상부에 제3박막 층을 얹는 단계; 제3박막을 보호하기 위해 제3박막의 상부면으로 제4박막을 형성시키는 단계; 기판 하부로부터 식각공정을 적용하여 제3박막의 중앙에 나노포어를 형성시키는 단계; 및 제2박막과 제4박막을 일부 식각하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노포어 제조방법에 관한 것이다.</p> |
