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经营范围
发明名称
晶圆托盘结构
摘要
申请公布号
TWM502958
申请公布日期
2015.06.11
申请号
TW103222964
申请日期
2014.12.25
申请人
聚昌科技股份有限公司
发明人
白英宏;张继允
分类号
H01L21/687
主分类号
H01L21/687
代理机构
代理人
傅尹坤 台北市大安区复兴南路1段380号12楼之1
主权项
一种晶圆托盘结构,其包括:一托盘本体,具有一表面;以及复数个晶圆平台,凸出形成于该表面上,至少一该晶圆平台具有一粗糙表面。
地址
新竹县湖口乡光复南路16号
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