| 主权项 |
一种干涉技术(interferometry)系统，适用于监控一物体的位置改变，上述干涉技术系统包括：a.一光谱宽频光源；b.至少一个感应器模组，每个感应器模组包括用于接收由上述光源导出之光的一干涉仪，将上述光的几个部分沿着分开的路径进行引导，且接着重组上述几个光部分，其中，至少一个上述路径接触上述物体，并且其中每个感应器模组更包括一侦测器，用于测量上述重组的光部分并产生一感应器输出讯号；c.至少一强度监控器，每个强度监控器包括一侦测器，用于测量由上述光源导出之额外光的上述强度并产生一监控器输出讯号；以及d.一电子处理模组用于接收上述感应器输出讯号和上述监控器输出讯号，根据上述监控器输出讯号来处理上述感应器输出讯号，用以表示由上述光源之光输出之强度波动，并判定关于上述物体之上述位置的上述改变之资讯，其中，上述强度监控器系用于以一种光谱敏感的方式来表示上述强度波动的特性；其中，上述强度监控器用于测量多个不同光谱频道之上述强度，包括一三菱镜、一波长滤波器、一绕射光栅、一扫描Fabry-Perot标准具(etalon)、一固定标准具或一额外干涉仪。
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