发明名称 混合鳍式场效电晶体
摘要
申请公布号 TWI488308 申请公布日期 2015.06.11
申请号 TW101144935 申请日期 2012.11.30
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 布渥卡 克里希纳 库马
分类号 H01L29/78;H01L21/28 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项 一种混合鳍式场效电晶体,包括:一第一鳍式场效电晶体,包括:一第一通道区,由一第一半导体鳍状物所构成;一第一闸绝缘层,位于该第一通道区的一侧壁上;一第一闸极,位于该第一闸绝缘层上;一第一源极区以及一第一汲极区,连接该第一通道区的相对两端,其中该第一源极区以及该第一汲极区为一第一导电类型;以及一第二鳍式场效电晶体,包括:一第二通道区,由一第二半导体鳍状物所构成;一第二闸绝缘层,位于该第二通道区的一侧壁上;一第二闸极,位于该第二闸绝缘层上,其中该第一闸极连接该第二闸极;一第二源极区,具有一相反于该第一导电类型的第二导电类型,其中该第一源极区电性连接该第二源极区;以及一第二汲极区,具有该第一导电类型,其中该第二源极区与该第二汲极区连接该第二通道区的相对两端,且该第一汲极区电性连接该第二汲极区。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号