发明名称 混合酸洗净组件
摘要
申请公布号 TWI487576 申请公布日期 2015.06.11
申请号 TW101139984 申请日期 2012.10.29
申请人 兰姆研究公司 发明人 雅维言 亚门;拉 库克斯 克里夫;侍 宏;达芬提 约翰
分类号 B08B3/08;B08B13/00;H01J37/32 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人 许峻荣 新竹市民族路37号10楼
主权项 一种洗净组件,包含模组化电极密封外壳、酸注射入口及流体注射入口,其中:该模组化电极密封外壳包含具有第一洗净体积的高压封闭构件以及具有第二洗净体积的低压封闭构件;该酸注射入口系形成于该高压封闭构件中并与该高压封闭构件的该第一洗净体积流体交流;该酸注射入口将酸性溶液供给至该高压封闭构件的该第一洗净体积;该流体注射入口系形成于该低压封闭构件中并与该低压封闭构件的该第二洗净体积流体交流;该流体注射入口将经纯化的水供给至该低压封闭构件的该第二洗净体积;及在正常操作期间,喷淋头电极系密封于该模组化电极密封外壳内俾使该第一洗净体积系位于该喷淋头电极的第一侧上而该第二洗净体积位于该喷淋头电极的第二侧上,且相对于该低压封闭构件的该第二洗净体积,该高压封闭构件的该第一洗净体积系在相对较高的压力下操作,该低压封闭构件更包含喷洒构件,该喷洒构件与该流体注射入口流体交流并可操作以在该第二洗净体积中喷洒经纯化的水,且该低压封闭构件包含出口通道,该出口通道与该第二洗净体积流体交流,用以在洗净密封于该模组化电极密封外壳内之喷淋头电极的期间从该第二洗净体积排放该经纯化的水。
地址 美国