| 主权项 |
一种晶圆传输系统，适于供一半导体厂房设置以传输数个晶圆承载盒，该晶圆传输系统包括：一悬吊式轨道，装设于该半导体厂房的顶壁；一悬吊式搬运车，可移动地装设于该悬吊式轨道；一制程机台，具有至少一载入埠，且该制程机台的载入埠位于该悬吊式轨道的下方；以及一轨道缓冲装置，包含：一支架模组，装设于该半导体厂房的顶壁，该支架模组具有一定位架体及数个悬吊式支架，该些悬吊式支架沿该定位架体装设于其上且彼此呈间隔排列设置；以及数个缓冲模组，分别吊挂于该支架模组的该些悬吊式支架，每一缓冲模组具有数个沿一铅垂线方向依序组装的缓冲件，且每一缓冲件用以收纳一个晶圆承载盒，其中，每一缓冲件的顶部与底部分别设有一顶组装部及一底组装部，且每一缓冲模组中任两相邻缓冲件的其中一缓冲件的顶组装部装设于另一缓冲件的底组装部；其中，该制程机台的载入埠与该轨道缓冲装置的每一缓冲件之间经由该悬吊式搬运车进行该些晶圆承载盒的传输。
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