Lichtmessvorrichtung, Verfahren, Programm und Aufnahmemedium

摘要

Eine Lichtmessvorrichtung, die einen Master-Laser, einen Slave-Laser, einen Belichtungslichtpuls und einen Messsignal-Generator beinhaltet. Der Master-Laser erzeugt als eine Ausgabe einen Master-Laserlichtpuls und der Slave-Laser erzeugt als eine Ausgabe einen Slave-Laserlichtpuls mit einer Wiederholungsfrequenz oder einer Phase, die sich von der des Master-Laserlichtpulses unterscheidet. Der Belichtungslichtpuls-Generator empfängt den Master-Laserlichtpuls und erzeugt als eine Ausgabe einen Belichtungslichtpuls und der Messsignal-Generator erzeugt als eine Ausgabe das Messsignal gemäß einer Leistung des Messlichtpulses, zu einem Zeitpunkt zu dem ein durch Belichtung des Messobjekts mit dem Belichtungslichtpuls und zusätzlich dem Slave-Laserlichtpuls erhaltene Messlichtpuls empfangen wird. Die Vorrichtung berichtigt einen Fehler in einer Messung des Messsignals.