溅镀系统的输送装置

主权项

一种溅镀系统的输送装置，适于在溅镀时运送一个基材，并包含：一个基座；一个输送件，可移动地设置在该基座上方，并包括一个平面、一个围绕地连接该平面的围面，以及一个由该平面往下延伸的孔面，该平面与该围面界定出一个开口朝上的凹槽，该孔面界定出一个连通该凹槽且往下贯通的贯孔；及一个抬升件，设置在该基座顶端，并位于该基座与该输送件间，且包括一个位于顶端的端面；该溅镀系统的输送装置可在一个第一状态与一个第二状态间变化，在该第一状态，该基材设置在该凹槽中并位于该平面上，该抬升件不高于该输送件的该平面，在该第二状态，该抬升件穿设进该凹槽中，且该抬升件的该端面顶抵该基材并高于该输送件的该平面。