发明名称 Träger und Verfahren zur Verarbeitung eines Trägers
摘要 Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Träger (100) bereitgestellt werden, wobei der Träger (100) Folgendes aufweist: eine Hohlkammer (104), die von einer Fläche (102s) des Trägers (100) beabstandet ist, eine Grabenstruktur (106), die sich von der Fläche (102s) des Trägers (100) zur Hohlkammer (104) erstreckt und ein erstes Gebiet (102a) des Trägers (100) lateral umgibt, wobei die Grabenstruktur (106) einen oder mehrere Gräben (106t) aufweist, die sich von der Fläche (102s) des Trägers (100) zur Hohlkammer (104) erstrecken, und eine oder mehrere Tragstrukturen (108) aufweist, die den einen oder die mehreren Gräben (106t) schneiden und das erste Gebiet (102a) des Trägers (100) mit einem zweiten Gebiet (102b) des Trägers (100) außerhalb der Grabenstruktur (106) verbinden, wobei die eine oder die mehreren Tragstrukturen (108) ein elektrisch isolierendes Material aufweisen.
申请公布号 DE102014117969(A1) 申请公布日期 2015.06.11
申请号 DE201410117969 申请日期 2014.12.05
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES DRESDEN GMBH 发明人 BIESELT, STEFFEN
分类号 H01L27/06;H01L21/822 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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