| 摘要 |
<p>본 발명은 판상체의 피연마면의 평탄도를 측정하는 평탄도 측정 공정과, 평탄도가 측정된 상기 판상체의 피연마면을 연마하는 연마 공정이며, 상기 판상체의 피연마면과 연마구를 상대적으로 가압하면서 상대적으로 회전시켜서 상기 연마구에 의해 상기 판상체의 피연마면을 연마하는 연마 공정을 구비하고, 상기 평탄도 측정 공정에서 측정된 상기 판상체의 피연마면의 평탄도에 기초하여 상기 연마 공정에 의한 연마 조건을 변경하는 판상체의 연마 방법에 관한 것이다.</p> |
