发明名称 |
可由直接粒子束沈积作用所获得之用于液晶的配向膜 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI487807 |
申请公布日期 |
2015.06.11 |
申请号 |
TW098106492 |
申请日期 |
2009.02.27 |
申请人 |
马克专利公司 |
发明人 |
亚若史查克 欧拉吉;缇乐许 尤金;寇克罗 亚历山大 |
分类号 |
C23C16/513;C23C16/22;G02F1/1337 |
主分类号 |
C23C16/513 |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
主权项 |
一种在基板上制备用于液晶或反应性液晶原配向之配向膜的方法,其包括下述步骤:将该基板直接或经由遮罩暴露于主导粒子能量为1eV至100eV之经弱加速粒子束,从而在该基板上提供沈积粒子层。
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地址 |
德国 |