发明名称 可由直接粒子束沈积作用所获得之用于液晶的配向膜
摘要
申请公布号 TWI487807 申请公布日期 2015.06.11
申请号 TW098106492 申请日期 2009.02.27
申请人 马克专利公司 发明人 亚若史查克 欧拉吉;缇乐许 尤金;寇克罗 亚历山大
分类号 C23C16/513;C23C16/22;G02F1/1337 主分类号 C23C16/513
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种在基板上制备用于液晶或反应性液晶原配向之配向膜的方法,其包括下述步骤:将该基板直接或经由遮罩暴露于主导粒子能量为1eV至100eV之经弱加速粒子束,从而在该基板上提供沈积粒子层。
地址 德国