| 主权项 |
一种用以将一图案化装置装载至一微影系统之一光罩载物台(reticle stage)上之方法，该方法包含：将一快速交换装置(RED)与该光罩载物台对准，该RED具有定位于其上之该图案化装置，并允许该图案化装置在最初三个自由度(first three degrees of freedom)上的顺应式(compliant)移动；移动该光罩载物台以促使接触该图案化装置；监控该光罩载物台与该图案化装置之间的一接触力；基于该监控来控制该光罩载物台以允许在其次(second)三个自由度上的顺应式移动，直至该光罩载物台与该图案化装置实质上接触且共平面为止；其中该最初三个自由度与该其次三个自由度系选自下列所组成的群组：沿着一x轴之平移(translation)；沿着一y轴之平移，该y轴垂直于该x轴；沿着一z轴之平移，该z轴垂直于该x轴及该y轴两者；围绕该x轴之旋转；围绕该y轴之旋转；及围绕该z轴之旋转；及其中该最初三个自由度与该其次三个自由度皆不同。
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