增强之晶圆载体

主权项

一种包括具有相对向之顶表面及底表面之本体之晶圆载体，该本体具有朝该本体之该顶表面开放之复数个凹穴，该载体界定出面向上之支撑面，其系位于各凹穴内之该本体之该顶表面下方，该载体进一步包括与该等凹穴相配合之锁扣，各锁扣具有面向下之锁扣表面且具有其中该锁扣表面系延伸于该相配合凹穴内或其上之操作位置，因而位于该凹穴内及停留于该支撑面上之晶圆将至少部分地由该锁扣表面限制其向上移动。