发明名称 多层线圈之制造方法
摘要
申请公布号 TWI488198 申请公布日期 2015.06.11
申请号 TW102127834 申请日期 2013.08.02
申请人 乾坤科技股份有限公司 发明人 王钟雄;江朗一;张炜谦;林雨欣
分类号 H01F41/06;C25D5/10;C25D7/06 主分类号 H01F41/06
代理机构 代理人 吴丰任 新北市永和区福和路389号6楼之3;戴俊彦 新北市永和区福和路389号6楼之3
主权项 一种多层线圈之制造方法,包含:提供一基板;于该基板上形成一种子层;以及根据N个门槛范围以N个电流密度于该种子层上电镀N个线圈层,以于该基板上形成一多层线圈,该N个电流密度中的第i个电流密度小于第i+1个电流密度,该N个门槛范围中的第i个门槛范围之上限小于或等于第i+1个门槛范围之下限,N为一大于1之正整数,i为一小于或等于N之正整数;其中,该N个线圈层中的第1个线圈层系以该N个电流密度中的第1个电流密度电镀于该种子层上;当该N个线圈层中的第i个线圈层之高宽比介于该N个门槛范围中的第i个门槛范围之间时,以第i+1个电流密度于该第i个线圈层上电镀第i+1个线圈层。
地址 新竹县新竹科学工业园区研发二路2号