晶片分离装置及其载板

主权项

一种晶片分离装置，其包含： 一套筒，具有一容置空间； 一载板，结合于该套筒，该载板具有一上表面、一下表面、一穿孔、复数个第一导气槽及复数个第一通气孔，该下表面朝向该容置空间，该穿孔连通该上表面及该下表面，各该第一导气槽凹设于该上表面，各该第一导气槽具有一第一开口及一第一底部，该些第一通气孔设置于该第一底部，该第一开口显露该第一底部及该些第一通气孔，该些第一通气孔连通该第一底部及该下表面；以及 一顶抵件，穿设于该穿孔，该顶抵件具有一抵触面，该穿孔显露该抵触面。