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<p>Eine Mehrfachladungs-Partikelstrahl-Schreibvorrichtung beinhaltet eine unterteilte Schussdaten-Erzeugungseinheit zum Erzeugen, für jeden Schuss von Mehrfachstrahlen geladener Partikelstrahlen, von Daten von mehreren Malen unterteilter Schüsse so, dass die Bestrahlung für einen Schuss jedes Strahls in eine Mehrzahl von Zeiten unterteilter Schüsse unterteilt wird, die alle eine unterschiedliche Bestrahlungszeit aufweisen, ein individuelles Austastsystem zur Bereitstellung von Austaststeuerung individuell für jeden der Mehrfachstrahlen, basierend auf den Daten für mehrere Male unterteilter Schüsse, eine Elastikraten-Korrekturwert-Erfassungseinheit zum Erfassen, für jeden einer Mehrzahl von unterteilten Schüssen, eines Elastikraten-Korrekturwertes zum Korrigieren einer Elastikrate eines Bildes der gesamten Mehrfachstrahlen, abhängig von der Anzahl von EIN-Strahlen von Mehrfachstrahlen, und eine Linse zum Korrigieren, für jeden unterteilten Schuss, der Elastikrate des Bildes der gesamten Mehrfachstrahlen unter Verwendung des Korrekturwerts.</p> |
