Differenzdrucksensor

摘要

Ein Differenzdrucksensor (101) umfasst eine Messmembran (110) aus einem elektrisch leitenden Werkstoff; zwei elektrisch isolierenden Gegenkörper (120, 130); und mindestens einen kapazitiven Wandler, wobei die Messmembran (110) mit den Gegenkörpern (120, 130), jeweils unter Bildung einer Messkammer zwischen entlang eines umlaufenden Randes druckdicht verbunden ist, wobei die Gegenkörper jeweils ein im Zentrum konkaves Membranbett aufweisen, wobei die Gegenkörper jeweils einen Druckkanal (125, 135) aufweisen, der sich durch den Gegenkörper in die Messkammer erstreckt, wobei der kapazitive Wandler zumindest eine Gegenkörperelektrode aufweist, welche durch eine metallische Beschichtung der Oberfläche des Gegenkörpers im Bereich des Membranbetts (124, 134) gebildet und durch eine metallische Beschichtung der Wand des Druckkanals kontaktierbar ist, wobei die Gegenkörperelektrode durch einen inneren Bereich (127, 137) der metallische Beschichtung gebildet ist, welcher von einen äußeren Bereich (126, 136) der Beschichtung ringförmig umschlossen und von letzterem durch einen ringförmigen Isolationsbereich (129, 139) getrennt ist.