发明名称 |
电极及其制作方法、阵列基板及其制作方法 |
摘要 |
本发明提供了一种电极及其制作方法、阵列基板及其制作方法,电极的制作方法包括:在金属电极层上形成ZnON材料层;对所形成的ZnON材料层进行刻蚀形成微透镜结构层;在所述微透镜结构层上形成透明电极层。本发明中,由于采用ZnON材料作为用于形成微透镜结构层的材料,能够在通过刻蚀的方式形成微透镜结构时,使用碱性或者酸性较弱的溶液,从而能够阻止金属电极层被腐蚀。 |
申请公布号 |
CN104701350A |
申请公布日期 |
2015.06.10 |
申请号 |
CN201510094993.8 |
申请日期 |
2015.03.03 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
王东方;闫梁臣;上官荣刚 |
分类号 |
H01L27/32(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/32(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
李相雨 |
主权项 |
一种电极,其特征在于,包括:金属电极层、形成在所述金属电极层上的微透镜结构层、形成在所述微透镜结构层上的透明电极层;其中,所述微透镜结构层采用ZnON材料制作。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |