一种用于航天器和军用计算机上的光互连基板及其制造方法

摘要

一种用于航天器和军用计算机上的光互连基板及其制造方法，包括发射组件、接收组件以及一侧开设有空腔的LTCC基板，所述LTCC基板的空腔内设置有单面抛光的硅片，硅片的抛光面上设置有复合波导；复合波导的一端设置第一反射镜，另一端设置第二反射镜；LTCC基板的另一侧组装有发射组件中的VCSEL器件和接收组件中的PD器件，VCSEL器件和第一反射镜之间设置第一微透镜阵列，PD器件和第二反射镜之间设置有第二微透镜阵列；本发明的LTCC光互连基板具有体积小、重量轻、集成密度更高的特点，非常适合制造用于航天器和军用计算机中，且更容易实现与光电组件的组装工艺。

主权项

一种用于航天器和军用计算机上的光互连基板，其特征在于，包括第一反射镜(7)、第二反射镜(6)、第一微透镜阵列(8‑1)、第二微透镜阵列(8‑2)、发射组件、接收组件、单面抛光的硅片(2)以及一侧开设有空腔的LTCC基板(1)；其中，发射组件集成了VCSEL器件(10)、VCSEL接口电路板和驱动电路芯片；接收组件集成了PD器件(11)、PD接口电路板、驱动电路芯片；所述LTCC基板(1)的空腔内设置有单面抛光的硅片(2)，单面抛光的硅片(2)的抛光面上设置有复合波导(19)；复合波导(19)的一端设置第一反射镜(7)，另一端设置第二反射镜(6)；发射组件、接收组件组装在LTCC基板(1)的另一侧，且LTCC基板(1)的另一侧开设有孔，VCSEL器件(10)和PD器件(11)组装在LTCC基板(1)的另一侧开孔处，VCSEL器件(10)和第一反射镜(7)之间设置第一微透镜阵列(8‑1)，PD器件(11)和第二反射镜(6)之间设置有第二微透镜阵列(8‑2)；VCSEL器件(10)垂直激发的光束透过孔后穿过第一微透镜阵列(8‑1)、经第一反射镜(7)水平反射入复合波导(19)，光束经复合波导(19)全反射传输后水平传输给第二反射镜(6)，由第二反射镜(6)垂直反射入第二微透镜阵列(8‑2)，最后光束经第二微透镜阵列(8‑2)、穿过孔进入PD器件(11)中，实现光互连。