硅微谐振式加速度计

摘要

本发明公开了一种新型的硅微谐振式加速度计，其特征在于：除具备传统英谐振式传感器的特性外，还有杂质浓度低、更大的设计灵活性、输出信号为频率信号，具有精度高和抗干扰能力强等优点。其导体单晶硅的杂质浓度极低，设计灵活性高，MEMS传感器尺寸小、工艺廉价。所述硅微谐振式加速度计导体单晶硅的杂质浓度极低，是一种理想的弹性结构材料。基于电容的谐振器的静电驱动和检测比压电石英技术具有更大的设计灵活性。MEMS传感器固有的小尺寸特性使紧凑的再入结构型惯性测量器件(IMU)的发展成为可能,并且具有廉价的特性，这为硅微谐振式加速度计的快速商业化的实现提供了可能。

主权项

一种新型硅微谐振式加速度计，其导体单晶硅的杂质浓度极低，设计灵活性高，MEMS传感器尺寸小、工艺廉价。