发明名称 |
测量被测量物的特性的方法、及平板状的周期性结构体 |
摘要 |
本发明是一种在平板状的周期性结构体(1)上保持被测量物、对所述周期性结构体(1)照射线性偏振的电磁波并基于通过所述周期性结构体(1)而前方散射或后方散射的电磁波的变化对被测量物的物性进行测量的测量方法,其中,所述周期性结构体(1)是将同一形状的单位结构体在1个基准面的方向上二维且周期性地连接多个而成的结构体,所述单位结构体具有在与所述基准面垂直的方向上贯通的至少1个空隙部(11),所述电磁波从相对于所述基准面垂直的方向进行照射,所述单位结构体的形状是相对于与所述电磁波的偏振方向正交的假想面而不成为镜像对称的形状。 |
申请公布号 |
CN103180716B |
申请公布日期 |
2015.06.10 |
申请号 |
CN201180050825.9 |
申请日期 |
2011.08.25 |
申请人 |
株式会社村田制作所 |
发明人 |
神波诚治;泷川和大;近藤孝志;田中功二 |
分类号 |
G01N21/3581(2014.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G01N21/47(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/3581(2014.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
王亚爱 |
主权项 |
一种测量方法,在平板状的周期性结构体(1)上保持被测量物,对所述周期性结构体(1)照射线性偏振的电磁波,对通过所述周期性结构体(1)而前方散射或后方散射的电磁波进行检测,基于所述前方散射的电磁波的频率特性上产生的波谷波形、或所述后方散射的电磁波的频率特性上产生的波峰波形因所述被测量物的存在而进行变化的情况,来测量被测量物的特性,所述测量方法的特征在于,所述周期性结构体(1)是将同一形状的单位结构体在1个基准面的方向上二维且周期性地连接多个而形成的结构体,所述单位结构体具有在与所述基准面垂直的方向上贯通的至少1个空隙部(11),所述电磁波从相对于所述基准面垂直的方向进行照射,所述单位结构体的形状是相对于与所述电磁波的偏振方向正交的假想面而不成为镜像对称的形状,在所述单位结构体的与保持所述被测量物的一侧为相反侧的主面(10a)上具有突起部(101)。 |
地址 |
日本京都府 |