静电卡盘装置

摘要

本发明提供一种静电卡盘装置，其由以下部件构成：静电卡盘部；环状的聚焦环部，设置成包围该静电卡盘部；和冷却基部，冷却该静电卡盘部和聚焦环部。聚焦环部包括环状的聚焦环、环状的导热片、环状的陶瓷环、非磁性体的加热器以及向该加热器供电的电极部。

主权项

一种静电卡盘装置，其特征在于，包括：静电卡盘部，将一个主面作为放置板状试料的放置面，并且内置有静电吸附用内部电极；环状的聚焦环部，设置成包围上述静电卡盘部；和冷却基部，设置在上述静电卡盘部的另一主面侧，用于冷却上述静电卡盘部和上述聚焦环部，上述聚焦环部包括：环状的聚焦环；环状的导热片，设于该聚焦环的下面；环状的陶瓷板，设于该导热片的下面；由非磁性体构成的加热器部，设于该陶瓷板和上述冷却基部之间；和电极部，向该加热器部供电，上述加热器部通过第1绝缘性粘接剂层固定于上述陶瓷板，并通过第2绝缘性粘接剂层固定于上述冷却基部，而且，通过上述第1绝缘性粘接剂层和第2绝缘性粘接剂层绝缘。