精密真空微球拨动装置

摘要

本发明提供了一种精密真空微球拨动装置，所述装置包括真空机械手、真空接口法兰、接地导线、微球盘、步进电机、步进电机支撑及角度调节平台、连接头。真空机械手含有导电刷、真空万向密封球头、机械手柄。所述装置中，真空机械手与真空接口法兰连接，真空接口法兰固定在真空镀膜设备上。通过操作机械手驱动机械手末端的导电刷拨动微球盘内的微球；也可将导电刷预先固定在微球盘内，再通过步进电机驱动微球盘转动来拨动微球。接地导电刷可将微球上的静电导入大地，避免微球静电粘连，进一步保证微球的有效运动，从而实现对微球表面进行均匀涂层处理。本发明结构简单，安装操作方便，能够有效提高微球表面涂层质量。

主权项

精密真空微球拨动装置，其特征在于：所述装置包括接地板（1）、真空机械手、真空接口法兰（6）、接地导线（5）、微球盘（7）、步进电机（9）、步进电机支撑及角度调节平台（10）、连接头（8）；其中，所述的真空机械手含有导电刷（11）、真空万向密封球头（2）、机械手柄（3），所述的步进电机支撑及角度调节平台（10）上设置有开口圆环（4）；其连接关系是，所述的真空机械手中的机械手柄（3）与真空万向密封球头（2）连接，真空万向密封球头（2）与真空接口法兰（6）连接，真空接口法兰（6）通过紧固螺钉固定外接在真空镀膜设备上；所述的导电刷（11）与真空机械手末端通过紧固螺钉连接；所述的接地导线（5）一端通过紧固螺钉与机械手柄（3）连接，另一端通过接地板（1）与大地连接；所述的步进电机（9）安装在步进电机支撑及角度调节平台（10）上的开口圆环（4）中；步进电机（9）的转轴通过连接头（8）与微球盘（7）连接；所述的步进电机（9）的转轴与水平面之间设置有夹角。