| 发明名称 | 一种选择性发射电极太阳能电池的制备系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种选择性发射电极太阳能电池的制备系统，包括制绒设备、第一丝网印刷设备、热扩散设备、去PSG和边缘刻蚀设备、减反膜沉积设备、第二丝网印刷设备和烧结设备；所述热扩散设备包括炉管、POCl<sub>3</sub>装置、大N<sub>2</sub>管路、小N<sub>2</sub>管路、O<sub>2</sub>管路、O<sub>3</sub>管路和紫外灯，所述POCl<sub>3</sub>装置、大N<sub>2</sub>管路、小N<sub>2</sub>管路、O<sub>2</sub>管路、O<sub>3</sub>管路均和所述炉管连接。采用本制备系统，可防止热扩散过程中磷浆挥发物对硅片的影响，提高硅片的外观质量，保证电池的转换效率。 | ||
| 申请公布号 | CN204391138U | 申请公布日期 | 2015.06.10 |
| 申请号 | CN201420637101.5 | 申请日期 | 2014.10.30 |
| 申请人 | 广东爱康太阳能科技有限公司 | 发明人 | 石强;秦崇德;方结彬;黄玉平;何达能 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人 | 温旭 |
| 主权项 | 一种选择性发射电极太阳能电池的制备系统，其特征在于，包括制绒设备、第一丝网印刷设备、热扩散设备、去PSG和边缘刻蚀设备、减反膜沉积设备、第二丝网印刷设备和烧结设备；所述热扩散设备包括炉管、POCl<sub>3</sub>装置、大N<sub>2</sub>管路、小N<sub>2</sub>管路、O<sub>2</sub>管路、O<sub>3</sub>管路和紫外灯，所述POCl<sub>3</sub>装置、大N<sub>2</sub>管路、小N<sub>2</sub>管路、O<sub>2</sub>管路、O<sub>3</sub>管路均和所述炉管连接。 | ||
| 地址 | 528100 广东省佛山市三水工业园区C区69号 | ||