电磁致动器、平台设备以及光刻设备

摘要

本发明公开一种电磁致动器、平台设备以及光刻设备。所述电磁致动器包括：第一磁性构件和第二磁性构件，所述第一磁性构件和第二磁性构件相对于彼此是可移位的并且布置成提供磁路；和线圈，配置成在使用中接收电流以产生通过所述磁路的磁通量，由此在第一磁性构件和第二磁性构件之间产生沿第一方向的力；所述磁通量在使用中在第一磁性构件和第二磁性构件之间被传递通过第一磁性构件的第一表面和第二磁性构件的第二表面，所述第一表面和第二表面通过空气间隙分隔开，其中第一表面和第二表面相对于彼此布置成使得在基本上垂直于第一方向的第二方向上第一表面的外部尺寸延伸超过第二表面的外部尺寸。

主权项

一种电磁致动器，包括：第一磁性构件和第二磁性构件，所述第一磁性构件和第二磁性构件相对于彼此是可移位的并且布置成提供磁路；线圈，配置成在使用中接收电流以产生通过所述磁路的磁通量，由此在第一磁性构件和第二磁性构件之间产生沿第一方向的力，所述磁通量在使用中在第一磁性构件和第二磁性构件之间被传递通过第一磁性构件的第一表面和第二磁性构件的第二表面，所述第一表面和第二表面通过空气间隙分隔开；和永磁体，布置成提供通过所述磁路的附加的磁通量，其中所述附加的磁通量布置成沿基本上平行于第一方向的方向越过将第一磁性构件与第二磁性构件分隔开的空气间隙，其中第一磁性构件包括彼此分离开的第一部分和第二部分，所述第二磁性构件和所述永磁体布置在所述第一部分和第二部分之间。