| 发明名称 | 用以涂布溅镀材料层于基板上的装置及沉积系统 | ||
| 摘要 | 本发明描述了一种用以涂布溅镀材料层于基板(12)上的装置(10；166；224)。所述装置(10；166；224)包括至少两个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)，其中每个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)具有外磁极性及内磁极性。所述至少两个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)中的一者的外磁极性不同于所述至少两个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)中的另一者的相邻的外磁极性。并且，本发明描述了一种沉积系统(14)，所述沉积系统包括所述装置(10；166；224)。 | ||
| 申请公布号 | CN104704603A | 申请公布日期 | 2015.06.10 |
| 申请号 | CN201280075041.6 | 申请日期 | 2012.07.02 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | A·克勒佩尔;M·哈尼卡;E·谢尔;K·施沃恩特兹;F·皮耶拉利西;J·刘 |
| 分类号 | H01J37/34(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 徐伟 |
| 主权项 | 一种用以涂布溅镀材料层于基板(12)上的装置(10；166；224)，所述装置(10；166；224)包括：至少两个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)，其中每个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)具有外磁极性(64、68、76、78、84、86、92、94、100、102、108、110)及内磁极性(66、80、88、96、104、112)；其中所述至少两个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)中的一者的所述外磁极性不同于所述至少两个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)中的另一者的相邻的外磁极性。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||