一种多光束阶梯角反射镜激光干涉仪及其测量方法

摘要

本发明涉及激光干涉测量技术领域，具体涉及一种多光束阶梯角反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、阶梯型角反射镜、移动角反射镜、光电探测器组以及微动平台，阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面，相邻两个反射平面间距为(k为自然数)，所述激光源可以生成多束平行激光，所述光电探测器组有n个光电探测器，激光干涉测量过程中，n个光电探测器将交替处于激光最强干涉状态或最弱干涉状态，测量精度可以达到。同时对于测量过程中严格满足多光路干涉状态交替变化的情况才对其进行计数，即在多光路干涉测量中引入交流信号，将传统的激光干涉测量中直流电平的测量转换为交流信号的测量，提高了干涉仪的抗干扰能力。

主权项

一种多光束阶梯角反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、阶梯型角反射镜、移动角反射镜、光电探测器组以及微动平台，其特征在于，所述激光源包括n个平行激光束，其中n≥2，所述光电探测器组包括n个光电探测器，所述阶梯型角反射镜包括成直角的两反射面，反射面为n个成阶梯型的反射平面，相邻两个反射平面的间距等于其中k为自然数、λ为激光源发出的激光波长；每个所述激光源发出的激光经过所述分光镜反射后，分别射入对应一个反射平面，每个所述反射平面将对应激光束反射到对应的所述光电探测器组的各个光电探测器；所述激光源发出的每束激光经过所述分光镜透射后，分别入射到所述移动角反射镜后再反射到对应的光电探测器组的各个光电探测器；所述阶梯型角反射镜连接在所述微动平台上。