| 发明名称 | 基于氧化锌纳米结构的紫外光敏传感器及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种基于氧化锌纳米结构的紫外光敏传感器及其制备方法。该紫外光敏传感器包括形成叉指电极的两组电极，以及设置在叉指电极至少一侧表面的氧化锌纳米膜；所述氧化锌纳米膜由六边纤锌矿晶相的氧化锌纳米线构成；所述叉指电极的两组电极不导通，形成所述紫外光敏传感器的信号输出端。本发明的基于氧化锌纳米结构的紫外光敏传感器及其制备方法，增加了氧化锌纳米结构的比表面积，具有灵敏度高，响应时间短的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN104701404A | 申请公布日期 | 2015.06.10 |
| 申请号 | CN201310655536.2 | 申请日期 | 2013.12.06 |
| 申请人 | 纳米新能源（唐山）有限责任公司 | 发明人 | 叶柏盈;王珊 |
| 分类号 | H01L31/09(2006.01)I;H01L31/0296(2006.01)I;C01G9/02(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 主分类号 | H01L31/09(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人 | 刘云贵;李郁 |
| 主权项 | 一种基于氧化锌纳米结构的紫外光敏传感器，其特征在于，包括形成叉指电极的两组电极，以及设置在叉指电极至少一侧表面的氧化锌纳米膜；所述氧化锌纳米膜由六边纤锌矿晶相的氧化锌纳米线构成；所述叉指电极的两组电极不导通，形成所述紫外光敏传感器的信号输出端。 | ||
| 地址 | 063000 河北省唐山市建设北路101号高科总部大厦1001室 | ||