用于控制等离子体处理系统的方法和装置

摘要

公开了一种用于通过测量RF驱动等离子体中的RF电压信号补偿晶片的偏压电压的方法和装置，其包括至少静电卡盘（ESC），电容分压器，信号处理和信号调整网络。该偏压补偿装置包括监测在ESC处的RF电压的电容分压器、滤波相关的具体的RF信号的信号调整网络以及根据经滤波的RF信号计算DC晶片电位的信号处理单元。

主权项

用于控制等离子体处理系统的方法，其包括：通过高阻抗路径从RF检测机构获取RF电压信号，该RF电压信号具有与多个RF发生器相关的多个RF频率，所述多个频率包括第一频率和第二频率，所述RF检测机构是RF杆，其中所述RF杆邻近ESC子系统的部件，其中当形成在等离子体室内时，所述部件位于具有等离子体的区域以外，其中所述RF杆用于检测所述RF电压信号，所述RF杆提供所述RF电压信号至电容器分压器网络；处理所述RF电压信号以产生多个信号，所述多个信号之一具有所述第一频率，并且所述多个信号中的另一个具有所述第二频率；将传递函数应用至具有所述第一频率的所述信号和具有所述第二频率的另一个信号以获得晶片电位；以及提供所述晶片电位作为控制信号以控制所述等离子体处理系统的至少子系统。