洗净装置以及洗净方法

摘要

在洗净装置中缩短洗净动作时间。开盒器(21)是用于向具有盒罩(5)和开闭自如的底盖(7)的中间掩模盒(1)内供给清洁气体以及从中排出而进行洗净的装置，并具备载物台(25)、升降驱动机构(41)、锁机构(13)、以及给排部(49)。载物台(25)能够将底盖(7)从盒罩(5)上卸下以及将其安装于盒罩(5)。升降驱动机构(41)能够移动载物台(25)。锁机构(13)使锁部件(15)动作，该锁部件(15)将底盖(7)不能脱落地固定于盒罩(5)以及解除固定。给排部(49)在完成锁部件(15)将底盖(7)固定于盒罩(5)的动作之前，开始进行洗净。

主权项

一种洗净装置，该洗净装置用于使用清洁气体对具有容器主体和开闭自如的盖的容器进行洗净，其特征在于，具备：装卸部，该装卸部用于能够将上述盖安装于上述容器主体，以及在上述盖能够从上述容器主体脱离时能够将上述盖卸下；移动机构，该移动机构使上述装卸部相对上述容器移动；固定部件，该固定部件用于将上述盖固定于上述容器主体以及解除固定；驱动机构，该驱动机构驱动上述固定部件；气体给排机构；第一检测器，该第一检测器用于检测上述盖的位置；以及控制部，该控制部作为各功能，具有升降驱动部、气体给排控制部、以及锁控制部，其中，在将上述盖安装于上述容器主体的动作中，当上述控制部的上述升降驱动部向上述移动机构发送上升动作开始信号、而上述移动机构使上述装卸部上升时，上述控制部基于由上述第一检测器检测到的上述盖的位置来控制上述气体给排机构开始进行上述容器的洗净，并且，在上述控制部控制上述驱动机构使其驱动上述固定部件将上述盖固定于上述容器主体之前，上述控制部控制上述气体给排机构开始进行上述容器的洗净。