光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置

摘要

光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件轴向调整装置存在的调整行程小，存在倾斜误差的问题，该装置包括电容传感器、镜框、宏微调节机构和导向导轨，电容传感器设置在镜框的上方，用于检测镜框的移动距离；宏微调节机构设置在镜框的边框下面，用于对镜框的宏微动调节；导向导轨设置在镜框的边框外侧，用于限制镜框的移动；所述镜框包括周向均布的三个凸台及三个导向凸台；电容传感器设置凸台上方，宏微调节机构作用在凸台上，导向凸台与导向导轨配合；该装置能在保证调整精度的同时，实现大行程调节；同时，驱动结构作用在镜框上，降低了调整力对光学元件面型的破坏。

主权项

光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置，其特征是，包括电容传感器(1)、镜框(3)、宏微调节机构(4)和导向导轨(5)，电容传感器(1)设置在镜框(3)的上方，用于检测镜框(3)的移动距离；宏微调节机构(4)设置在镜框(3)的边框下面，用于对镜框(3)的宏微动调节；导向导轨(5)设置在镜框(3)的边框外侧，用于限制镜框(3)的移动；所述镜框(3)包括周向分别均匀分布的三个凸台(3‑1)及三个导向凸台(3‑2)；宏微调节机构(4)作用在凸台(3‑1)上，导向凸台(3‑2)与导向导轨(5)配合；宏微调节机构(4)包括导轨(4‑1)、作用平台(4‑2)、压电驱动器(4‑3)、底座(4‑4)、第一联接螺钉(4‑5)、步进电机(4‑6)、丝杠(4‑7)、第二联接螺钉(4‑8)和驱动圆头(4‑9)；导轨(4‑1)由第一联接螺钉(4‑5)与底座(4‑4)联接在一起；作用平台(4‑2)与导轨(4‑1)配合；压电驱动器(4‑3)通过第二联接螺钉(4‑8)与作用平台(4‑2)固定在一起；步进电机(4‑6)与丝杠(4‑7)联接在一起，带动丝杠(4‑7)转动，驱动圆头(4‑9)作用在镜框(3)的凸台(3‑1)上，推动镜框(3)作轴向运动。