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<p>[과제] 대상물의 위치 결정 정밀도를 유지한 상태로, 위치 어긋남을 보정하는 시간을 단축하여 해당 대상물을 반송한다. [해결수단] 대상물을 반송하는 반송처의 위치 어긋남을 보정하는 보정 장치에 있어서, 대상물을 반송하는 반송부에 대하여 고정된 제1 센서와, 반송처의 목표 위치에 대응하여 마련된 제1 기준점의 위치를, 제1 센서를 이용하여 검출하고, 반송처로 반송된 하나의 대상물이 반송처에 위치해 있는 동안, 반송부와 제1 센서 사이의 제1 오프셋을 검출하는 보정 제어부를 구비하는 보정 장치, 프로브 장치 및 시험 장치를 제공한다.</p> |
