发明名称 半导体器件及其制造方法
摘要 一种半导体器件包括:第一层叠结构,其具有彼此交替形成的第一导电层和第一绝缘层;第一半导体图案,其穿通第一层叠结构;耦接图案,其与第一半导体图案耦接;以及缝隙,其穿通第一层叠结构和耦接图案。
申请公布号 CN104701322A 申请公布日期 2015.06.10
申请号 CN201410258002.0 申请日期 2014.06.11
申请人 爱思开海力士有限公司 发明人 李起洪;皮昇浩;李承俊
分类号 H01L27/115(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I 主分类号 H01L27/115(2006.01)I
代理机构 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人 俞波;周晓雨
主权项 一种半导体器件,包括:第一层叠结构,其包括彼此交替形成的第一导电层和第一绝缘层;第一半导体图案,其穿通所述第一层叠结构;耦接图案,其与所述第一半导体图案耦接;以及缝隙,其穿通所述第一层叠结构和所述耦接图案。
地址 韩国京畿道