发明名称 |
手动探针台 |
摘要 |
手动探针台,属于探针台技术领域。包括探针台底座、承片台、安装承片台的承片台座、快速寻址机构、锁紧机构及微调装置,承片台座置于快速寻址机构的导轨上,其特征是,锁紧机构由真空吸盘构成,真空吸盘与探针台底座的台面贴合,所述微调装置设置在真空吸盘上,真空吸盘与快速寻址机构连接,真空吸盘与探针台底座的台面为真空锁紧状态时,快速寻址机构被固定锁紧;真空吸盘下表面设有真空室,真空室设置在真空吸盘与探针台底座之间,并与探针台底座的台面贴合。本发明结构简单合理、易实现,能在芯片测试对准过程中,在完成快速粗对准后将快速寻址机构锁紧,实施微调动作。 |
申请公布号 |
CN104698229A |
申请公布日期 |
2015.06.10 |
申请号 |
CN201310648405.1 |
申请日期 |
2013.12.06 |
申请人 |
扬州飞堑电子设备有限公司 |
发明人 |
方丹;方俊国 |
分类号 |
G01R1/06(2006.01)I |
主分类号 |
G01R1/06(2006.01)I |
代理机构 |
扬州苏中专利事务所(普通合伙) 32222 |
代理人 |
许必元 |
主权项 |
一种手动探针台,包括探针台底座、安装在探针台底座立柱上的显微镜、升降台、固定在升降台上用于安装测试探针的探针架、用于放置待测试芯片的承片台、安装承片台的承片台座、快速寻址机构、锁紧机构及微调装置,所述探针台底座下面设有电器盒,所述承片台座置于快速寻址机构的导轨上,其特征是,所述锁紧机构由真空吸盘构成,真空吸盘与探针台底座的台面贴合,所述微调装置设置在真空吸盘上,真空吸盘与快速寻址机构连接,真空吸盘与探针台底座的台面为真空锁紧状态时,快速寻址机构被固定锁紧;所述真空吸盘下表面设有真空室,真空室设置在真空吸盘与探针台底座之间,并与探针台底座的台面贴合。 |
地址 |
225001 江苏省扬州市邗江区梅岭东路梅岭佳苑8-302室 |