探针卡安装方法

摘要

本发明提供一种探针卡安装方法，其能够使探针卡相对于输送台的装卸容易地进行。在晶片检查装置10中，使输送台(18)移动而使台侧摄像机(28)与配置在测试器(15)一侧的测试器侧摄像机(16)相互相对来确定基准位置，利用台侧摄像机(28)确认测试器(15)的针标(24)来确定从基准位置至测试器(15)的弹性框架(19)的中心的第一距离，利用测试器侧摄像机(16)确认安装于输送台(18)的探针卡(20)的目标标记(32)来确定从基准位置至探针卡20的中心的第二距离，基于被确定的基准位置、第一距离和第二距离，使输送台(18)移动而使探针卡(20)与弹性框架(19)相对。

主权项

一种探针卡安装方法，其用于在包括多个测试器和将被检查用的晶片输送到各所述测试器的输送台、并且要在各所述测试器安装具有用于与晶片接触的探针的探针卡的晶片检查装置中，用所述输送台将所述探针卡安装于各所述测试器，所述探针卡安装方法的特征在于：在所述输送台设置面向所述测试器的第一摄像机，在所述测试器侧设置面向所述输送台的第二摄像机，使所述输送台移动而使所述第一摄像机与所述第二摄像机相互相对来确定基准位置，利用所述第一摄像机确认所述测试器所具有的第一标记来确定所述测试器中的探针卡的安装部的位置，利用所述第二摄像机确认安装于所述输送台的所述探针卡所具有的第二标记来确定所述探针卡的位置；基于被确定的所述基准位置、所述探针卡的安装部的位置和所述探针卡的位置，使所述输送台移动而使所述探针卡与所述探针卡的安装部相对，使所述输送台进一步向所述探针卡的安装部移动而将所述探针卡安装于所述探针卡的安装部。