载体和用于加工载体的方法

摘要

本发明的各个实施例涉及载体和用于加工载体的方法。根据本发明的各种实施例，可以提供一种载体，该载体包括：中空腔室，与载体的表面间隔开来；沟槽结构，从载体的表面延伸至该中空腔室并且横向环绕载体的第一区域，沟槽结构包括从载体的表面延伸至中空腔室的一个或多个沟槽、以及横穿该一个或多个沟槽并且将载体的第一区域与载体在沟槽结构外部的第二区域连接的一个或多个支撑结构，其中该一个或多个支撑结构包括电绝缘材料。

主权项

一种载体，包括：中空腔室，与所述载体的表面间隔开；以及沟槽结构，从所述载体的所述表面延伸至所述中空腔室并且横向环绕所述载体的第一区域，所述沟槽结构包括从所述载体的所述表面延伸至所述中空腔室的一个或多个沟槽、以及横穿所述一个或多个沟槽并且将所述载体的所述第一区域与所述载体在所述沟槽结构外部的第二区域连接的一个或多个支撑结构，其中所述一个或多个支撑结构包括电绝缘材料。