发明名称 | 多晶硅片的制绒方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种多晶硅片的制绒方法,包括步骤:配制硝酸和氢氟酸的混合溶液作为腐蚀液对多晶硅片进行制绒;在制绒的过程中,使用表面具有微结构的滚轴压印于所述多晶硅片的制绒面上。该制绒方法中,在制绒的过程中通过使用表面具有微结构的滚轴压印于多晶硅片的制绒面上,可以使多晶硅片表面形成具有与微结构相反向的压印图形,同时可以使反应液流动以及反应过程中生成的气体及时排出,进而获得更为均匀的绒面效果。 | ||
申请公布号 | CN104695026A | 申请公布日期 | 2015.06.10 |
申请号 | CN201510123102.7 | 申请日期 | 2015.03.20 |
申请人 | 青海大学 | 发明人 | 铁生年;高梦宇;王军;侯思懿;周莲;房玉双 |
分类号 | C30B33/10(2006.01)I | 主分类号 | C30B33/10(2006.01)I |
代理机构 | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人 | 孙伟峰 |
主权项 | 一种多晶硅片的制绒方法,其特征在于,包括:配制硝酸和氢氟酸的混合溶液作为腐蚀液对多晶硅片进行制绒;在制绒的过程中,使用表面具有微结构的滚轴压印于所述多晶硅片的制绒面上。 | ||
地址 | 810016 青海省西宁市宁大路251号 |