| 摘要 |
1. Сканер для сканирующего зондового микроскопа (СЗМ), включая головку, состоящий из корпуса сканера, включающего привод и датчик для обнаружения движения сканера, где корпус сканера выполнен с возможностью съема с головки вручную и без использования инструментов и имеет общий объем менее приблизительно пяти (5) кубических дюймов.2. Сканер по п.1, где сканер представляет собой Z-сканер, обеспечивающий движение зондирующего устройства, подсоединенного к нему, по существу, только в направлении, перпендикулярном образцу сканирования.3. Сканер по п.2, дополнительно содержащий гибкую диафрагму, подсоединенную между приводом и зондирующим устройством, для ограничения движение зондирующего устройства вбок относительно направления.4. Сканер по п.1, где датчик, по существу, предназначен для измерения движение зондирующего устройства в плоскости, и где, по меньшей мере, часть датчика опирается на корпус.5. Сканер по п.4, где датчик включает в себя консольный элемент, имеющий фиксированные и свободные концы, и соединение, и где одно из соединений присоединено к свободному концу консольного элемента, а противоположный конец соединения присоединен к держателю зонда, поддерживающему зондирующее устройство.6. Сканер по п.1, где корпус герметично изолирован для обеспечения возможности использования в жидкости.7. Сканер по п.5, где датчик дополнительно включает тензодатчики, расположенные, по существу, на фиксированном конце консольного элемента.8. Сканер по п.1, где корпус имеет а) первый открытый конец для присоединения сканера к свободной концевой части головки СЗМ, имеющей наружную поверхность и выступающей в направлении образц� |
