| 发明名称 | 高灵敏微悬臂梁探针 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种新型高灵敏微悬臂梁探针，其特征在于：用以检测样品电子自旋、核自旋的磁共振力显微镜(MRFM)需要能够检测到AN(10-18N)甚至更小力的高灵敏微悬臂梁，更长、更薄、更窄的高品质因数(Q值)微悬臂梁在极低温下，能够测量极小的力。 | ||
| 申请公布号 | CN104698224A | 申请公布日期 | 2015.06.10 |
| 申请号 | CN201310658702.4 | 申请日期 | 2013.12.09 |
| 申请人 | 孙宝恒 | 发明人 | 孙宝恒 |
| 分类号 | G01Q60/54(2010.01)I | 主分类号 | G01Q60/54(2010.01)I |
| 代理机构 | 大连智慧专利事务所 21215 | 代理人 | 周志舰 |
| 主权项 | 一种新型高灵敏微悬臂梁探针，基于SOI圆片制作单晶硅微悬臂梁，提出对埋氧层图形化，提出加载端头质量提升微悬臂梁在空气中的Q值，对应用于MRFM系统微悬臂梁进行结构优化设计。 | ||
| 地址 | 116300 辽宁省大连市瓦房店市大宽街二段98号1-6-1 | ||