一种检测微量六氟化硫浓度的声学方法及其装置

摘要

本发明公开了一种检测微量六氟化硫浓度的声学方法及其装置，利用超声波在气体中传播时声波衰减的原理，通过对参考气体和检测气体发射端和接收端的声压强度检测，计算相应的衰减程度，通过衰减程度的比值表征六氟化硫浓度。本发明提供的检测微量六氟化硫浓度的声学方法及其装置，突破了现有技术中仅通过利用在气体中传播的超声波的传播速度或时间来测量气体浓度的方法，实现了利用在气体中传播的超声波的声波衰减来测量气体浓度，方法简单、易于实现。

主权项

一种检测微量六氟化硫浓度的声学方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：(1)分别使相同幅度的超声波穿过参考气体和检测气体；(2)分别测量穿过参考气体和检测气体的超声波的幅度；(3)分别计算穿过参考气体和检测气体的超声波的衰减程度；(4)通过两个衰减程度的比值计算、表征六氟化硫浓度；所述检测气体为混有六氟化硫的参考气体；所述参考气体和检测气体的温度、湿度和压力相同；所述步骤(4)中，利用下式计算两个衰减程度的比值：$\ln \frac{p_R}{p_D}=({\alpha }_D-{\alpha }_R)x,$其中，p_R为参考气体接收测量到的声波声压强度，p_D为检测气体接收测量到的声波声压强度，α_R为参考气体的声波衰减系数，α_D为检测气体的声波衰减系数，x声波传播距离，利用参考气体和检测气体的衰减系数差值表征六氟化硫浓度。