发明名称 采用三坐标测量仪拼接测量大口径非球面面形的方法
摘要 采用三坐标测量仪拼接测量大口径非球面面形的方法,涉及一种测量大口径非球面面形的方法,解决现有对大口径非球面的检测无法采用三坐标测量仪实现检测的问题;对被检测大口径非球面的尺寸进行划分,相邻子孔径有四分之一的区域为重合区域;采用三坐标测量仪测量第一子孔径区域的数据,并在重叠区域贴上三个靶标,采用三坐标测量仪测定靶标的数据;调整被检测大口径非球面的位置,采用三坐标测量仪再次测定三个靶标的数据;移去三个靶标,获得第二子孔径区域的面形数据;采用迭代算法进行两孔径的基准统一,求解拼接因子,如果有多个子孔径,采用两两拼接的方法实现对大口径非球面面形的检测。本方法操作简单,检测成本低。
申请公布号 CN102980532B 申请公布日期 2015.06.10
申请号 CN201210570644.5 申请日期 2012.12.25
申请人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明人 王孝坤
分类号 G01B11/24(2006.01)I 主分类号 G01B11/24(2006.01)I
代理机构 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人 陶尊新
主权项 采用三坐标测量仪拼接测量大口径非球面面形的方法,其特征是,该方法由以下步骤实现:步骤一、对被检测大口径非球面的尺寸进行划分,获得多个子孔径;所述多个子孔径在三坐标测量仪的检测范围内,相邻子孔径有四分之一的区域为重叠区域;步骤二、采用三坐标测量仪检测并采集子孔径区域的面形数据,并在该子孔径区域与相邻的另一个子孔径区域的重叠区域贴上三个靶标,采用三坐标测量仪测定三个靶标的数据;步骤三、调整被检测大口径非球面的位置,使三坐标测量仪行程能够完全检测到另一个子孔径区域的面形数据;采用三坐标测量仪测定三个靶标的数据;移去三个靶标,三坐标测量仪获得另一个子孔径区域的面形数据;步骤四、判断是否是最后一个子孔径,如果是,则执行步骤五;如果否,返回执行步骤二;步骤五、根据步骤二和步骤三测量得到的相邻两个子孔径重叠区域三个靶标中心十字叉点的坐标值,利用迭代算法进行坐标变换得到子孔径相对于另一个子孔径在X,Y方向的平移量和绕Z轴的转动量,将相邻两个子孔径统一到相同的基准上,获得在相同基准面上的相邻两个子孔径数据;步骤六、判断步骤五获得的两个子孔径的重叠区域是否大于四分之一,如果否,则返回执行步骤三;如果是,则采用最小二乘法获得相邻两个子孔径的拼接系数,最终实现对大口径非球面面形的检测。
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