陀螺仪传感器及该传感器的制造方法

摘要

本发明涉及陀螺仪传感器(2)，其包括：传感元件(4)，其被设计成振动；电极支承架(8)，其能够支承用于激发所述传感元件(4)的电极(20)和用于探测所述传感元件(4)的振动的电极(20)；以及支撑杆(16)，其被设计成支撑所述电极支承架(8)，其特征在于所述支撑杆(16)具有至少一个凸出端(17)。

主权项

一种陀螺仪传感器(2)，其包括：传感元件(4)，其被设计成振动；电极支承架(8)，其能够支承用于激发所述传感元件(4)的电极(20)和用于探测所述传感元件(4)的振动的电极(20)；以及支撑杆(16)，其被设计成支撑所述电极支承架(8)，所述支撑杆(16)具有至少一个凸出端(17)，其中所述电极支承架(8)包括朝向所述传感元件(4)的第一主表面(22)、末端表面(24)和与所述第一主表面(22)相对的第二主表面(26)；用于激发的电极(20)和用于探测的电极(20)都在所述第一主表面(22)、所述末端表面(24)和所述第二主表面(26)上方延伸；所述凸出端(17)被固定到所述用于激发的电极(20)和所述用于探测的电极(20)的至少一部分上；所述电极(20)的所述一部分在所述第二主表面(26)上方延伸。