半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法

摘要

本发明涉及一种半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法，步骤为：建立相应的子系统管理模块、通讯接口模块、解析模块和网络通讯模块；通讯接口模块接收到半导体制造设备控制系统发送的控制指令，转发给子系统管理模块；子系统管理模块对控制指令进行解析，分发给相应的子系统模块，子系统模块通过网络通讯模块向控制器发送指令，多个子系统模块可并行执行控制指令；解析模块对接收到的控制器消息进行解析，将指令运行结果反馈给相应的子系统模块，再由通讯接口模块反馈给半导体制造设备控制系统。本发明为半导体制造设备前端模块提供了标准化的软件接口，有利于不同IC装备控制系统标准化；提高了系统的生产效率，提高了系统的适应性。

主权项

一种半导体制造设备前端模块的传输控制平台化实现方法，其特征在于包括以下步骤：根据不同厂商的半导体制造设备前端模块的特点建立相应的子系统管理模块、通讯接口模块、解析模块和网络通讯模块；通讯接口模块接收到半导体制造设备控制系统发送的控制指令，转发给子系统管理模块；子系统管理模块对接收到的控制指令进行解析，分发给相应的子系统模块，子系统模块根据当前状态通过网络通讯模块向控制器发送指令，多个子系统模块可并行执行控制指令；解析模块对接收到的控制器消息进行解析，将指令运行结果反馈给相应的子系统模块，再由通讯接口模块反馈给半导体制造设备控制系统；子系统管理模块对接收到控制指令进行解析，分发给相应的子系统模块，子系统模块根据当前状态执行操作，多个子系统模块可并行执行控制指令，包括以下步骤：子系统管理模块接收到控制指令，在各子系统模块指令表中查找；判断控制指令是否在子系统模块指令表中查找成功；如果查找成功，将控制指令分发给待控制的子系统模块；判断该待控制的子系统模块是否处于空闲状态；如果处于空闲状态，通过子系统模块指令表，利用双向命名转换映射合成最终发给控制器的指令字符串；通过网络通讯模块将合成的控制指令发送给半导体制造设备前端模块控制器，同时记录接收该指令的子系统模块信息，结束一次控制过程；子系统管理模块将控制指令分发给该待控制的子系统模块后，继续监听和分发控制指令，实现子系统模块的并行调度管理；所述子系统管理模块通过以下过程建立：根据不同厂商的半导体制造设备前端模块的特点建立相应的各子系统模块，建立各自的指令表；依据用户不同需求选择不同子系统模块，生成相应的子系统模块表，构成子系统管理模块；所述通讯接口模块为根据半导体制造设备控制系统的特点，建立半导体制造设备前端模块的接收控制指令和发送反馈结果的指令接口；所述解析模块通过以下过程建立：根据不同厂商的半导体制造设备前端模块通讯协议建立相应的解析规则；依据解析规则，实现半导体制造设备前端模块控制器和子系统模块之间的指令及信息的有效传输；所述网络通讯模块为与控制器建立连接，将合成的控制指令发送给半导体制造设备前端模块控制器，同时监听其反馈结果；如果待控制的子系统模块不处于空闲状态，则通过通讯接口模块向半导体制造设备控制系统发送设备状态不满足结果；返回子系统管理模块通过通讯接口模块接收控制指令步骤；如果查找指令不成功，则通过通讯接口模块向半导体制造设备控制系统发送指令参数错误结果，返回子系统管理模块通过通讯接口模块接收控制指令步骤；利用双向命名转换映射合成最终发给控制器的指令字符串，包括以下步骤：创建半导体制造设备控制系统的控制指令参数同半导体制造设备前端模块控制器的控制指令参数的正向转换映射表；创建半导体制造设备前端模块控制器的控制指令参数同半导体制造设备控制系统的控制指令参数的反向转换映射表；根据接收到的控制指令，子系统管理模块在正向转换映射表中查找对应的半导体制造设备前端模块控制器的控制指令参数；由控制指令和查找到的指令参数生成最终发给控制器的指令字符串；解析模块对接收到的控制器消息进行解析，将指令运行结果反馈给相应的子系统模块，再由通讯接口模块反馈给半导体制造设备控制系统，包括以下步骤：解析模块接收到半导体制造设备前端模块控制器的反馈结果，进行解析；解析后的结果反馈给子系统管理模块，由子系统管理模块在各子系统模块表中查找处于等待反馈结果状态的子系统模块；在满足要求的子系统模块中依据控制指令确定对应的子系统模块，同时将该子系统模块置成空闲状态；通过通讯接口模块将执行结果反馈给半导体制造设备控制系统。