一种用于平衡多晶硅生产干法处理系统压力的方法

摘要

本发明公开了一种用于平衡多晶硅生产干法处理系统压力的方法，包括：步骤一、含氯硅烷的废气、废液和燃料气在燃烧炉内高温水解成烟气，将上述烟气通入余热锅炉降温，并回收蒸汽；步骤二、将步骤一中的降温回收的烟气进入主回路，其中主回路的烟气通入过滤器内进行过滤除尘后，送至喷淋降温塔进行二次降温；步骤三、将步骤二中二次降温的烟气送至循环增浓塔吸收HCl；步骤四、从循环增浓塔出来的残余烟气进入第一喷淋除酸塔二次净化处理，最后从排气管高空达标排放。本发明将水封和过滤相结合，充分利用水封压力稳定和自动泄压、自动封闭功能，平衡了整个含氯硅烷废气、废液燃烧干法处理系统的运行压力。

主权项

一种用于平衡多晶硅生产干法处理系统压力的方法，其特征在于，包括：步骤一、含氯硅烷的废气、废液和燃料气在燃烧炉内高温水解成烟气，将上述烟气通入余热锅炉降温，并回收蒸汽；步骤二、将步骤一中的降温回收的烟气进入主回路，其中主回路的烟气通入过滤器内进行过滤除尘后，送至喷淋降温塔进行二次降温；步骤三、将步骤二中二次降温的烟气送至循环增浓塔吸收HCl；步骤四、从循环增浓塔出来的残余烟气进入第一喷淋除酸塔二次净化处理，最后从排气管高空达标排放。