聚苯胺/二氧化钛薄膜QCM气敏传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种聚苯胺/二氧化钛薄膜QCM气敏传感器及其制备方法。以AT切型，10MHz的石英晶体微天平为基片，采用静电层层自组装聚苯胺/二氧化钛纳米复合物的方法制成气体敏感薄膜，经热处理除去水分子后，制得聚苯胺/二氧化钛复合物频率型薄膜气敏传感器。其中测得的频率信号灵敏度和分辨率远远优于对应的电阻信号,聚合的纳米复合的聚苯胺/二氧化钛自组装层能极大的提高元件的室温气敏响应。该方法制备工艺简单，成本低，尤其适用于批量生产。对氨气和硫化氢具有很高响应灵敏度和很好的回复性，能在室温下检测和长期稳定等特点，可广泛应用于工农业生产过程及大气环境中低浓度有毒气体的室温精确测量与控制。

主权项

一种聚苯胺/二氧化钛薄膜QCM气敏传感器，其特征在于：以 QCM为基体，在基体表面上蒸发、光刻对称金电极，在金电极上连接有引线，在石英晶体基体和金电极表面上涂覆有气敏薄膜，气敏薄膜为聚苯胺/二氧化钛的自组装纳米复合物。