发明名称 | 一种CdTe溅射靶材的制备方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种CdTe溅射靶材的制备方法,属于太阳能电池材料领域。该方法包括如下步骤:(1)将真空熔炼制备的CdTe块体,破碎研磨成粉,将得到的CdTe粉末装入模具,进行冷压成型;(2)冷压成型后,放置于热压炉内,进行真空热压烧结;热压温度在500~800℃,压力为20MPa~200MPa,温保压时间30min~120min;(3)真空热压烧结完成后,停炉冷却、脱模取料,进行机械加工。通过本发明方法得到的CdTe溅射靶材的致密度可以达到98%以上,平均晶粒尺寸在45nm以下,靶材结晶度达到80%以上。 | ||
申请公布号 | CN104694889A | 申请公布日期 | 2015.06.10 |
申请号 | CN201310670692.6 | 申请日期 | 2013.12.10 |
申请人 | 北京有色金属研究总院 | 发明人 | 储茂友;王星明;白雪;韩沧;张碧田 |
分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人 | 刘徐红 |
主权项 | 一种CdTe溅射靶材的制备方法,包括如下步骤:(1)将真空熔炼制备的CdTe块体,破碎研磨成粉,将得到的CdTe粉末装入模具,进行冷压成型;(2)冷压成型后,放置于热压炉内,进行真空热压烧结;(3)真空热压烧结完成后,停炉冷却、脱模取料,进行机械加工。 | ||
地址 | 100088 北京市西城区新街口外大街2号 |