一种高精度水平支撑系统

摘要

本实用新型涉及精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种高精度水平支撑系统；包括水平台、第一角度传感器、第二角度传感器、第一高度调整系统、第二高度调整系统、固定支撑系统和自动控制系统以及气浮式基座；所述第一、第二高度调整系统以及固定支撑系统的底部均安装有气浮式基座；当水平调节装置发生倾斜时，由水平传感器测量获得当前倾斜量，通过自动调节算法计算支撑电机调节量，自动控制系统驱动支撑电机运动，以调整支撑脚座作伸长或缩短，实现水平度的自动调节；同时通过引入气浮式基座和球形支撑，将调节中的机械变形转化成水平滑动和接触角的变化，保证了系统在调节过程中的稳定性；适合用于作为各种精密设备的水平支撑系统。

主权项

一种高精度水平支撑系统，其特征是，包括水平台、第一角度传感器、第二角度传感器、第一高度调整系统、第二高度调整系统、固定支撑系统、自动控制系统以及气浮式基座；所述第一高度调整系统、第二高度调整系统以及固定支撑系统将所述水平台支撑相连；所述第一高度调整系统、第二高度调整系统以及固定支撑系统的底部安装有气浮式基座；所述第一高度调整系统、第二高度调整系统中均包括高度调整电机，通过所述高度调整电机来调节所述第一高度调整系统、第二高度调整系统的高度，进而调整水平台的水平度；所述第一角度传感器、第二角度传感器、第一高度调整系统、第二高度调整系统以及气浮式基座，均与所述自动控制系统相连；工作时，所述自动控制系统根据第一角度传感器、第二角度传感器所探测到的倾斜角度，控制高度调整电机来调节对应高度调整系统的高度，进而达到调整水平台的水平度的作用。